2018-06-28 Los medidores de flujo de película delgada de alta temperatura generalmente consisten en una capa de resistencia térmica y una capa de termómetro de película delgada. La capa de resistencia térmica del transductor de discos piezos generalmente utiliza material PZT con una pequeña conductividad térmica de modo que los termómetros están en ambos lados pueden obtener una t grande.
