Sensor de caudal térmico de película delgada de alta temperatura

Los medidores de flujo de película delgada de alta temperatura generalmente consisten en una capa de resistencia térmica y una capa de termómetro de película delgada. La capa de resistencia térmica deTransductor de discos piezosPor lo general, utiliza material PZT con una pequeña conductividad térmica de modo que los termómetros estén en ambos lados pueden obtener una gran diferencia de temperatura, obteniendo así una señal más fuerte y una mayor sensibilidad. La capa del termómetro de película delgada suele ser un termopar de película delgada o un transductor de temperatura de resistencia. La poliimida tiene alta resistencia térmica y buenas propiedades mecánicas. El medidor de flujo térmico de película delgada como una capa de resistencia térmica puede usarse por debajo de 400 ° C. Sílice deSensor de efecto piezoeléctricoTiene baja conductividad térmica y buenas propiedades mecánicas. Por lo tanto, como el material de la capa de resistencia térmica de los medidores de flujo térmico de película delgada de mayor temperatura, este medidor de flujo térmico se puede usar a la temperatura de 900 ° C. Los medidores de flujo de película delgada de alta temperatura pueden usar materiales cerámicos precursores como CAPT y capas de resistencia térmica. Las cerámicas PIZO PRECISOR tienen un medidor de flujo térmico a alta temperatura para el entorno aero-motor se fabricaron con un pecado de 250 μm en la capa de barrera térmica media. El medidor de flujo térmico se puede usar a temperaturas de alrededor de 1 400 ° C.

Los sensores de película delgada integrados multifuncionales se integran con una cepa de película delgada de alta temperaturaTransductor de tubo piezoeléctrico, termómetros y medidores de flujo térmico. Es un desafío porque los tres sensores tienen diferentes principios de detección, diferentes estructuras y diferentes tamaños. Un sensor de película delgada integrado multifuncional fue diseñado para medir simultáneamente la tensión, la temperatura y el flujo de calor, donde el medidor de cepa PT mide PT-13RH / PT. Termopar Medidas Temperatura, 2 capas de diferente grosor de la capa de resistencia térmica de alúmina y 40 pares de PT Un medidor de flujo térmico de tipo termopile, que consiste en un termopar de -13RH / PT. Mide el flujo de calor. Para romper la temperatura de trabajo de los materiales de aleación, la NASA ha desarrollado aún más un sensor de película delgada integrado multifunción para materiales cerámicos PIZO.

losSensor de placa piezoeléctricaUtiliza un proceso de despegue para patrón de un factor de tensión de 3.9, TCR de -93 × 10-6 ℃ -1, resistividad de 259 μΩCM, una sensibilidad aparente de tensión de -24 × 10-6 ℃ -1. El TCR de materiales y aleaciones de cerámica piezo es negativa, la NASA ha desarrollado sensores de película delgada de alta temperatura multifuncionales para cerámica piezo. EstasTransductor de anillos piezoeléctricosIncluya medidores de cepa de película delgada a alta temperatura, termopares de alta película de alta temperatura y medidores de flujo térmico de película delgada de alta temperatura. El TCR de PD-13CR es positivo. Los dos juntos constituyen una capa funcional que hace que la parte de TCR positiva y negativa a una parte,Materiales piezoeléctricos Piezo Tube TransducerEstá reduciendo el TCR general, lo que aumenta la sensibilidad. El sensor de película delgada multifuncional tiene problemas de eliminación y difusión, problemas de compatibilidad del proceso de pelado y problemas de expansión de alta temperatura.