Transductor ultrasónico de película delgada de alta temperatura

Una amplia gama de filmesinas de alta temperatura.Transductor ultrasónicoson introducidos. Los medidores de cepa de película delgada de alta temperatura y medidores de cepa de película delgada de alta temperatura se utilizan para la aleación de películas delgadas DUO a los materiales sensibles en una etapa temprana. Debido a diferentes características de materiales y procesos de fabricación deTransductor de distancia ultrasónica, los medidores de tensión de película delgada están hechos por diferentes aleaciones. Lo que puede soportar la temperatura varía mucho. Por ejemplo, las medidores de tensión de película delgada de aleación de NICR pueden soportar temperaturas de prueba de 600 ° C; Los medidores de tensión de la película delgada de aleación de PDCR pueden alcanzar una temperatura máxima de funcionamiento del sensor de distancia ultrasónico.

Después de la optimización de los parámetros del proceso, se pueden usar a una temperatura de 1 100 ° C; Las medidores de tensión de película delgada Ni-Craly pueden soportar temperaturas de hasta 800 ° C. Los materiales cerámicos PIZO pueden soportar temperaturas más altas que las aleaciones en la actualidad, los medidores de cepa cerámica piezoicos incluyen ITO (óxido de estaño de indio) y TAN 2 tipos. Las medidores de tensión de película delgada de ITO pueden funcionar a temperatura ambiente deHoja de datos del sensor de rango ultrasónico, pero el nivel de la tensión y la temperatura tienen un gran efecto en el coeficiente de variación, que se debe principalmente a la difusión de oxígeno en la película ITO. Los medidores de tensión de la película delgada, pueden soportar temperaturas de hasta 400 ° C. Los parámetros del proceso tienen una gran influencia en la microestructura de los sensores de rango ultrasónica de las películas delgadas Tan .El coeficiente de resistencia y coeficiente de tensión de los medidores de cepa de película delgada. El coeficiente de temperatura TCR de la resistencia de la cerámica piezo y las aleaciones es opuesta entre sí y puede cancelar entre sí.

En la actualidad, se han producido medidores de cepa de película fina multicapa. Se han producido medidores de cerámica piezo. El bronceado es inestable en el aire por encima de 500 ° C, por lo que la temperatura del uso de los medidores de tensión multicapa TAN / PDCR no excede los 500 ° C. El titanato de estroncio de bario se usa como medio sensible del sensor de medición de distancia ultrasónica capacitiva y el electrodo del PDCR, ya que el medidor de tensión de película delgada de alta temperatura adopta una estructura interdigitada de placa plana y puede soportar una alta temperatura de 500 ° C.