Los materiales sensibles son los componentes centrales de los sensores de película delgada de alta temperatura. Su estabilidad química y eléctrica tiene una gran influencia enAnillos piezoeléctricos de vibración sensualrSi los sensores de película delgada se pueden usar en ambientes hostiles. Los tipos de materiales sensibles, la microestructura del material sensible tiene una estructura de cristal propia, y las propiedades de los portadores libres se llevan a cabo la sensibilidad del coeficiente del sensor de película delgada fabricada. En general, el indicador de cepa de película de aleación tiene el factor de calibre más bajo, seguido de un indicador de cepa de película delgada hecha de material cerámico piezoico, y el más altoTransductor de disco cerámico piezoeléctricoEs un indicador de cepa de película delgada semiconductora.
cosensibilidad eficiente
El coeficiente de tensión más alto de la alta temperatura tiene un medidor de cepa de película delgada, el coeficiente mayor de la alta temperatura.Sensor piezoeléctrico de material PZTes el termopar de película delgada, y el coeficiente de resistencia más alto de la temperatura es la película delgada RTD, la sensibilidad más alta y más sencilla la señal de medición, pero la sensibilidad del sensor de película delgada alta temperatura está hecha de diferentes materiales piezoicos sensibles. Los coeficientes varían ampliamente . Los medidores de tensión de película delgada de alta temperatura están hechos de aleaciones de alta temperatura generalmente tienen un coeficiente de tensión de 1 a 3, mientras que los medidores de cepa ordinaria de cerámica piezoen tienen un coeficiente de tensión ligeramente más alto de 3 a 9, pero son comparables a Los de los medidores de cepa de dopado semiconductores (100 a 200). ¿Cuál todavía no es lo suficientemente alto? El coeficiente de un termopar de película delgada está hecho de una aleación es baja, el coeficiente de Sebeck de un termopar de película delgado está hecho de cerámica piezoica es ligeramente alta.
PErformance de alta temperatura.
Los materiales sensibles soportan la tarea de generar señales y pueden tolerar temperaturas limitadas. Cuando la temperatura exceda una cierta temperatura deTransduce de cerámica piezoeléctrica ultrasónica.r, el cambio de fase o incluso el grieta se produce el material piezo sensible, lo que afecta el rendimiento eléctrico y, finalmente, conduce a la falla del sensor de película delgada. En la actualidad, la aleación puede soportar temperaturas de 1 100 ° C y la cerámica piezoe puede soportar temperaturas de 1 500 ° C. En las aplicaciones de alta temperatura (como áreas de alta temperatura de los aeroides), la temperatura ha excedido 1700 ° C. Hoy en día, los sensores de película delgada de alta temperatura ya no pueden soportar seleccionar materiales y procesos Piezoe que son más resistentes a las altas temperaturas y pueden soportar un sensor de temperaturas más altas.
MamáProceso de manufactura de material piezo sensible.
Sensores cerámicos piezoeléctricosSon materiales sensibles y tienen las características de la resistencia a la alta temperatura y la resistencia a la oxidación. El estado inicial es líquido. Después del curado de la luz o la termoestadilla a una temperatura de aproximadamente 90 ° C a aproximadamente 100ºC, la temperatura es de aproximadamente 300 ° C a 600 ° C. Se lleva a cabo la reticulación, y la cerámica piezoeléctrica precursora finalmente está pirolizada a una temperatura de aproximadamente 1 000 ° C. Las piezocerámicas precursores funcionan de manera estable a temperaturas superiores a 1 400 ° C, pero se encogen durante la reticulación y la pirólisis, generalmente se reducen en aproximadamente un 30%. Agregar rellenos puede reducir la contracción. Existen procesos maduros para fabricar partes del cuerpo que utilizan sensor de vibración de disco Piezoeléctrico precursor, pero hay pocos informes sobre sus procesos de patrones de película delgada. No hay ningún informe sobre el proceso de patrones de películas delgadas PDC en aleaciones de níquel-base. Por lo tanto, el uso de cerámica piezo para la fabricación es sensor de película delgada de alta temperatura requiere la resolución de la contracción. Es problemas y problemas de proceso de patrones. Elegir el material correcto puede mejorar el coeficiente de sensibilidad del sensor de película delgada de alta temperatura. El coeficiente de sensibilidad del sensor de película delgado de alta temperatura también se puede mejorar cambiando la composición del material sensible al dopar materiales sensibles a la capa múltiple.
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