Termómetro de película piezo de alta temperatura

El termómetro de película delgada de alta temperatura incluye un termopar de película delgada y un detector de temperatura de resistencia (RTD). Los termopares de película delgada se pueden usar a 1 000 ° C, pero los termopares deriva debido a la oxidación del germanio en la película delgada. Una capa de alúmina protectoraTransductor de disco piezoPuede ser pulverizado para reducir la oxidación del germanio; Los termopares de película delgada PT-13 RH / PT debido a diferentes técnicas de procesamiento, el rango máximo de temperatura de funcionamiento es de 900 ° C ~ 1 200 ° C; Los termopares de película delgada NICR-NIMN se utilizan para medir la temperatura de la paleta de guía de turbina de baja presión de la turbina de gas, la temperatura máxima de funcionamiento deCristal de disco PIZOes de 400 ° C;

Los termopares se utilizan generalmente para medir temperaturas transitorias hasta una temperatura máxima de funcionamiento de 800 ° C. Los termopares de película delgada de tungsteno / torio requieren una capa protectora a altas temperaturas para la operación normal y2MHZ Piezo Discs Crystalpuede operar a una temperatura de 1370 k bajo protección de la capa protectora; NI El termopar de película delgada NI / CR se puede usar para monitorear la temperatura de corte y puede funcionar por debajo de 890 K. Ni / CR y los termopouples de película delgada de aleación de NI-AL pueden monitorear la temperatura del proceso de fabricación y se utilizan a temperatura ambiente. a 600 ° C; PT / PD Termopouples de película delgada deSensor de placa piezoeléctricaSe utilizan para monitorear la temperatura del tratamiento térmico de las obleas de silicio y puede sobrevivir a 850 ° C durante 10-20 h. Como una cerámica de óxido, el material cerámico ITO tiene características de resistencia a alta temperatura, resistencia a la oxidación y película cerámica ITO compuesta por diferentes materiales de electrodos.