Sistema de material de alta película delgada Piezoico cerámica.

Los medidores térmicos de alta película de alta temperatura son generalmente consisten en una resistencia térmicaTransductor piezoe 400khzy una capa de termómetro. La conductividad térmica de dos tipos de materiales de resistencia térmica con diferentes espesores, el grosor de una capa piezoide es 1 mm, y el grosor de la otra capa es de 2 mm. Cuando hay flujo de calor, las temperaturas se generan debajo de la capa de resistencia térmica son T1 y T2 respectivamente. Los coeficientes de expansión térmica de laMaterial piezoeléctrico de 1MHzson diferentes. Durante el proceso de calentamiento o enfriamiento, se puede generar la tensión térmica, de modo que las capas de diferentes materiales piezoen. El material sensible puede oxidarse y fracturar, y así el sensor de película delgado puede fallar. Los medidores de cepa de alta temperatura deben estirarse con frecuencia. Debido a que las resistentes a la tracción de los materiales en diferentes capas son diferentes, la concentración de estrés y las grietas pueden ocurrir entre elSensor de efecto piezoeléctricoDurante la operación, y finalmente los indicadores de tensión producirán errores de medición e incluso fallarán. Cuando está diseñando un sensor de película delgada, es necesario considerar el coeficiente de expansión térmica entre las capas de materiales, incluso el módulo de elasticidad, de modo que los parámetros de las capas piezoides adyacentes sean lo más cerca posible, lo que reduce el El desajuste térmico y el estrés de tracción.